電子氣體是高科技產業重要的“源”材料，是集成電路制造過程中必不可少的關鍵支撐材料。業內人士表示，中國半導體行業要實現從跟蹤走向引領的跨越，電子氣體的突破將是重要一環。

半導體制造過程中刻蝕、清洗、外延生長、離子注入、摻雜、氣相沉積、擴散等要使用大量的電子氣體，且電子氣體的純度對芯片質量影響很大。隨著集成電路制程節點不斷縮小（已經走到10/7納米），對電子氣體的顆粒度和雜質含量的要求也越來越高。因此，集成電路技術快速發展，對電子氣體的品種、數量、質量、安全性以及穩定性等方面均提出了更高的要求。

根據國際半導體協會（SEMI）的數據，2016年全球半導體用特種氣體市場規模為34.7億美元，2017年增長到38.9億美元，增長率為12.32%。按照這個增速，2018年的市場規模預計在45億美元左右。

據了解，目前，國際上電子氣體產業已經處于非常成熟的時期，全球半導體用電子氣體市場呈現出寡頭競爭的格局，美國空氣化工，法國液化空氣、普萊克斯，德國林德，日本大陽日酸之和占比94%以上。

國內的半導體用電子氣體市場也主要被國外廠商占據，其中空氣化工、普萊克斯、昭和電工、英國BOC、液化空氣和日本大陽日酸6家公司合計市場占有率高達85%。中船重工718所副所長王少波在接受《中國電子報》記者采訪時表示，半導體用電子氣體國產化將大幅降低中國芯片制造商的制造成本，提高中國芯片制造業的競爭力。但由于存在很高的進入門檻，目前電子氣體的國產化率較低。“半導體制程過程中用到的83種電子氣體，其中有35%已經實現國產化，還有35%正在國產化，30%還未進行國產化。半導體產業用的7種大宗氣體仍被國外公司壟斷，但中船重工718所已立項完成技術研發和系統集成，在德淮半導體公司成功應用，未來將大力開拓市場，實現國產化。”王少波說。

電子氣體難全面進入IC領域的三大原因

電子氣體生產的瓶頸很多，從原材料純度開始，到合成工藝、對溫度和壓力的控制，再到提純方法和分析方法，以及產品充裝過程中對雜質的控制，每個環節都會影響整個產品的質量。

從技術層面來看，國內企業已經基本具備了生產高純電子氣體的能力，但是國內電子氣體的生產商還不能全面進入集成電路等領域。江蘇南大光電材料股份有限公司副總裁許從應博士向《中國電子報》記者分析了三點原因。

第一，本土電子氣體的生產和供應商規模較小，不能為用戶提供全方位的服務。和國際巨頭公司相比，國內的供應商總體來說體量較小，目前大多通過低價競爭的方式占領一點市場份額，從而導致價格快速下滑，利潤很薄，甚至“賠本賺吆喝”。國內電子氣體企業缺少提升創新能力的資金，以及為用戶提供全方位服務的資源。

第二，質量穩定性問題。電子氣體，特別是高純電子氣體是影響電子器件可靠性和成品率的重要因素。隨著電子信息技術的飛速發展，對電子氣體的純度要求也越來越高，經常需要6N級（99.9999％）甚至更高的純度，并且對電子氣體質量的穩定性要求也越來越苛刻。“舉一個例子，如果一種電子氣體產品，在集成電路制造工藝中通過驗證，這樣的純度和質量要求就被鎖定了。芯片制造商不希望看到產品的質量有任何變化，即使是純度的進一步提高也可能產生意想不到的問題。所以電子材料生產過程的任何改變，包括更換原料供應商、生產工藝的變動等，都必須及時通知芯片制造商，他們會根據情況決定是否重新進行驗證。由于國內企業生產的電子氣體發生過多次質量事故，因此，影響了芯片制造商對本土電子產品的信任度。”許從應對記者說。

第三，國內電子氣體產品的包裝、儲運未能和現代電子工業的要求接軌。為了節省成本，很多企業在包裝、儲運等方面降低了要求，為此出現過種種問題。

電子氣體需求量大本土化呼聲日益增高

目前，世界半導體工業中心正呈現向中國快速轉移的趨勢，因此中國對電子氣體的需求也呈現大幅增長態勢。中國高速發展的半導體產業要求關鍵的電子氣體要盡快實現本土化，并保證穩定的供應。

“特別是一些依賴進口的品種，如激光氣等，必須盡快實現進口替代，以保障我國半導體產業的健康發展。”許從應向《中國電子報》記者表示，“電子氣體多為易燃、易爆、劇毒，屬于控制范疇，進口非常麻煩，運輸周期較長，這嚴重制約國內光電子、微電子產業的健康穩定發展。另外，電子氣體作為核心關鍵原材料，廣泛地應用在國防軍工領域，因此，歐美等發達國家和地區將一些高純電子氣體列為敏感戰略物資，對中國實行技術封鎖，實施禁運，嚴重地影響了國防、軍工、航空、航天事業的發展。”

但要真正實現電子氣體的大規模本土化，擺脫對進口材料的依賴，依然任重道遠。許從應認為，電子氣體企業必須在尊重市場經濟規律的前提下實現兼并重組，減少惡性競爭和重復投資的浪費，優化資源的使用，提升企業的創新能力。企業還要更新理念，引進6西格瑪等先進的質量管理體系，配備了解IC制造等電子工業工藝制程的應用工程師，提供配套支持和全方位的服務。他還建議，國家應該在資金投放和稅收政策等方面，積極引導兼并重組，幫助強的企業變得更大更強，讓弱的企業、管理能力差的企業融入強的企業或自然地退出市場。此外，通過政策激勵，充分引導社會上的資金參與電子氣體產業建設，幫助企業做大做強。“相信中國一定能夠在5到10年內形成一到兩個大型的、專業全面提供配套產品和全方位服務的、國內國際知名品牌的電子氣體材料企業。”許從應最后說。

任何一種電子氣體要打入半導體制造領域，至少要面對三個難關：驗證氣體的性能、量產實績以及客戶端的認可程度。王少波告訴《中國電子報》記者，目前在電子氣體國產化進程中，通過客戶的測試驗證、取得客戶的認可還存在一定的困難。因此，他認為，發展國內電子氣體產業，需要國家落實和完善對該類企業的財稅、資金等優惠政策支持，加大財政資金、大基金和金融部門的扶持力度，引導集成電路廠家使用國產電子氣體，從而幫助企業把握發展機遇，加快企業技術進步和做大做強。從企業的角度看，應努力提升技術創新和管理水平，加大對電子氣體共性、基礎、關鍵技術的系統研發力度，提高品質意識、管理理念和安全管理水平，用連續、穩定的產品和良好的服務贏得客戶的信任。

節選自中國電子報、電子信息產業網